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Säntis 300 全晶圆定量阴极发光CL-SEM系统
Attolight定量CL-SEM系统提供 “不折不扣”大视场快速扫描的同时获取SEM图像、高光谱CL图像和光学光谱。较小直径的晶圆,或形状混杂的衬底被手动加载到300mm的中间感受器上,然后仪器自动处理。
Santis 300全晶圆工业CL-SEM系统是全晶圆阴极发光显微镜,可以完全自动化控制150、200和300毫米晶圆。