Allalin 快速定量阴极发光CL-SEM系统

Allalin是一种纳米分辨率光谱仪器，基于一种被称为定量阴极发光的突破性技术，它将光学显微镜和扫描电子显微镜（SEM）集成到一个系统中。Allalin允许“不折不扣”的大视场/ 快速扫描同时获得扫描电镜成像与高光谱或全光谱CL图像。该系统的构建是为了在不牺牲扫描电镜（SEM）性能的前提下获得最佳的阴极发光性能：光学显微镜和扫描电镜的物镜被周密的整合在一起，使它们的焦平面相互匹配；光学显微镜以亚微米精度加工，与传统的CL技术相比，具有高数值孔径（N.A.0.71）的消色差、高数值孔径（N.A.0.71）检测，在大视场（高达300 µm）下具有优越的光子收集效率。因此，定量阴极发光，其中与仪器系统相关的组件所引入的误差可以从本质上被排除掉，这使阴极发光首次变的可信。 

Allalin是为那些需要遵循严格的技术路径和快速获取非常精确的光谱信息而设计的，而这些信息是传统方法无法企及的。

在半导体故障分析、开发和研究中，Allalin的光谱测量能力为快速可靠的缺陷检测和定位提供了无与伦比的解决方案。经过验证的数据类型包括位错密度、材料成分波动、应变、掺杂剂类型和浓度的测量；以及其他广泛的应用。

在科学研究中，Allalin能够创建纳米分辨率的光谱图，这使得它成为深入了解纳米尺度材料物理特性的终极工具。

Allalin拥有一套全面的功能选项：覆盖紫外-红外波长范围的各种探测器选择、SE检测器、稳定的低温样品台和高灵敏度的EBIC（电子束感应电流）检测解决方案。